IM5000 II und IM5000 II CTC
Beschleunigungsspannung von 100 V bis 8 kV
wählbar, für empfindliche Proben geeignet
Höchste Querschnitts-Abtragsrate
1mm/Stunde in Si, Maskenüberstand 100 my, Ionenenergie 8 keV, Schwingwinkel +/-30°
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Querschnittsbreite einstellbar
bis 10mm akkurat nach Bedarf, bis 4mm im "air
protection" Betrieb
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Hoher Bedienkomfort durch Touch Panel
Programmierung und Automatikfunktionen
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​Optionales Softwarepaket
weitere Funktionalitäten
IM5000 erweitert die Querschnitts-Fähigkeiten der IM4000 II Serie durch eine verdoppelte Abtragsrate und die Möglichkeit, Querschnitte je nach aktuellem Bedarf auf bis zu 10 mm Breite zu erweitern. Dazu wird die Probe während des Querschneidens im zuvor registrierten Be-arbeitungsbereich periodisch unter stetem Verbleib im optimalen Fokus lateral verfahren. Optional ist auch das sequentielle Bearbeiten mehrerer Einzelposition mög-lich. IM5000 ermöglicht damit eine bessere Statistik von Schichtdickenmessungen über längere Distanzen, die zusammenhängende Darstellung größerer Bauelemente, sowie eine deutlich reduzierte Prozesszeit an Hartmate-rialien wie Stählen oder Keramiken.Mit dem IM5000 CTC sind auch Cryo-Querschnitte variabler Breite bei definierbarer Prozesstemperatur bis herab zu -100 °C möglich.Luftempfindliche Proben können mit dem optionalen und nachrüstbaren („air protection”) Set unter Schutzgas ins IM geladen und von dort nach Prozessende unter Luft-ausschluß in ein REM oder AFM transferiert werden.